Nanoelektromechanisches System

Ein nanoelektromechanisches System (englisch nanoelectromechanical system, kurz NEMS) ist ein miniaturisiertes Gerät, Baugruppe oder Bauteil, dessen Komponenten Abmessungen im Nanometerbereich haben. Damit stellt es die logische weitere Miniaturisierung eines Mikrosystems bzw. eines mikroelektromechanischen Systems (MEMS) dar, wobei die Grenzen fließend sind, sich per ISO-Norm jedoch im Bereich von 1 bis 100 nm bewegen^[1]. Typischerweise verbinden sie transistorähnliche Nanoelektronik mit mechanischen Aktoren, Pumpen und Motoren.

1. ↑ DIN SPEC 1121; DIN ISO/TS 27687:2010-02: Nanotechnologien – Terminologie und Begriffe für Nanoobjekte – Nanopartikel, Nanofaser und Nanoplättchen (ISO/TS 27687:2008); Deutsche Fassung CEN ISO/TS 27687:2009.